Цифровой расходомер SMC позволяет точно настраивать и контролировать расход с цифровым дисплеем. Он уменьшает пространство для установки на 76%, что делает его очень компактным. Общие применения включают контроль потока газа N₂ для предотвращения мерцания камеры обнаружения и окисления подложки, а также контроль потока охлаждающей воды для регулирования температуры подложки и высокочастотного питания.

Функция блокировки ключом
Функция переключения единиц
Удержание максимального и минимального значения
4 независимых диапазона расхода могут контролироваться одним контроллером